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產(chǎn)品與服務(wù)

磁控濺射鍍膜機(jī)
磁控濺射真空鍍膜機(jī)

設(shè)備說明:
磁控濺射真空鍍膜機(jī)是立式單開門非平衡磁控反應(yīng)濺射鍍膜機(jī)。此設(shè)備所沉積的膜層在致密度、均勻度、純度、硬度等方面均有提高。廣泛應(yīng)用于手表、眼鏡、通訊、電子、機(jī)械、裝飾和交通航空等領(lǐng)域的高檔裝飾和功能性薄膜。

設(shè)備說明:
磁控濺射真空鍍膜機(jī)是立式單開門非平衡磁控反應(yīng)濺射鍍膜機(jī)。此設(shè)備所沉積的膜層在致密度、均勻度、純度、硬度等方面均有提高。廣泛應(yīng)用于手表、眼鏡、通訊、電子、機(jī)械、裝飾和交通航空等領(lǐng)域的高檔裝飾和功能性薄膜。
主要特點(diǎn):
1、 沉積速率快,溫升小,能較好的抑制打火及靶中毒現(xiàn)象;
2、 濺射釋放的高能量使膜層密度和附著力有顯著提高;
3、 觸摸屏幕+PLC,可實(shí)現(xiàn)全自動控制,自動/手動隨時切換;
4、 鍍膜室容積大,裝載量大,生產(chǎn)效率高。
5、 工件架采用公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),可設(shè)置自動正反轉(zhuǎn),產(chǎn)品均勻性好;
6、 整機(jī)配置合理,抽氣速率快,噪聲小,耗能低;
基本配置:
1、 鍍膜室、閥門、管道均采用不銹鋼制造,立式、單開門結(jié)構(gòu),真空室有效直徑自Φ1000mm-Φ1800mm;
2、 真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、旋片泵、羅茨泵和帶冷阱高真空油擴(kuò)散泵或分子泵組成;
3、 鍍膜系統(tǒng)采用2~8套平面靶或柱靶,配有2~8個直流電源或中頻電源;
4、 輔助抽氣系統(tǒng)采用一臺低溫水汽捕集器;
5、 充氣系統(tǒng)采用1~4路氣體流量計及流量控制(顯示)儀控制;
6、 電控系統(tǒng)設(shè)置電路過載、斷水、斷氣聲光報警裝置;
7、 控制系統(tǒng)(觸摸屏+PLC),實(shí)時顯示詳細(xì)參數(shù),全自動控制整個生產(chǎn)過程,并自動存儲工藝參數(shù);
8、 可根據(jù)客戶要求配多套靶源。
技術(shù)參數(shù):

總重量 3500kg~6000kg
名義功率 80KW~180KW
抽速(新機(jī)、空載) 2×10-3Pa≦8min
極限真空(新機(jī)、空載) ≦8×10-4Pa
壓升率(新機(jī)、空載) 0.67Pa/小時
工件轉(zhuǎn)速 0~20r/min

 

寧波駿鷹真空科技有限公司

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